参数值
4S
±10 ~±20μm@3σ
±1° @3σ
20G-300G
0.15×0.15mm-15×15mm
厚度≥ 70μm
Tape 卷料、电子飞达供料
2000-4000 pcs/hr（根据治具矩阵密集程度）
4inch Gel-PAK、Wafer-PAK( 可定制 )
12 寸晶圆（向下兼容 10 寸、8 寸）
±10°
500*350mm（可调节）
256 灰度级 / 寻边
1920pixel×2560pixel
5M（1920×2560pixel） FOV（16mm；×1,×2,×4）
1600×1250×2000mm（L*W*H）( 具体以实物为准 )
2000KG ( 具体以实物为准 )
