设备简介
动作流程：
晶圆打标动作流程：
1. 人工将晶圆正面朝下放置在工作台上，真空吸附晶圆；
2. 下全局识别 CCD 对晶圆进行初步定位；
3. 晶圆移至下精定位 CCD 上，识别划线路径；
4. 激光器对晶圆划线；
5. 划线完成后，晶圆移至取料位，人工取出晶圆。
ITO 玻璃打标打标动作流程：
1. 人工将晶圆正面朝上放置在工作台上，真空吸附晶圆；
2. 上全局识别 CCD 对晶圆进行初步定位；
3. 晶圆移至上精定位 CCD 下，识别晶圆 mark；
4. 定位 mark 完成后，晶圆移动至取料位，人工将晶圆取出；
5. 人工将 ITO 玻璃放置在工作台上，真空吸附玻璃；
6. ITO 玻璃移至激光器下，激光器对 ITO 玻璃刻 mark；
7. mark 刻完后，ITO 玻璃移动至取料位，人工取出 ITO 玻璃；
8. ITO 玻璃刻字符同原理。
